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    MF-OVV系列無氧烘箱(垂直送風)
        發布時間: 2023-06-28 10:03    

    MF-OVV系列烘箱設備是專門設計用來滿足半導體集成電路行業配套烘箱,它具有先進的設計理念與工藝技術,可滿足不同產品的品質要求。


    MF-OVV系列無氧烘箱(垂直送風)

    用途特點:

    本產品適用于半導體加工,該烘箱采用垂直熱循環方式,進行精確的溫度控制。

    技術特點: 

    采用垂直送風系統,垂直腔體模塊安裝在垂直腔體頂部,與傳統安裝方式相比,減少安裝空間20-60%。提高生產線生產效率,節省設備空間;

    內腔采用SUS304拉絲板,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運行時的腔體內清潔和預防了產品表面沾污;

    內門結構后門為單結構,采用雙密封結構,防止熱量流失;

    整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實現微調;

    大容積的設計,由于改進了隔斷和支撐板,可以同時承受更多的產品重量;

    優異的熱工性能,使加熱性能大大提高,運行時不會影響環境,室內溫度保持不變。

    過程控制:

    多段式程序控制,完全滿足現場各種工藝需求;

    與配套AUTORECIPE軟件,實時溫度監控軟件,可實現產品烘箱運行參數管理與生產運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產效率、控制產品品質。

    設備特點:

    堅持工藝優先的設計原則,即先制定最為優化的工藝配置,再確定設備結構和布局,以確保工藝最穩定,材料利用最合理,力求提升設備穩定性和降低運行成本;

    本著人性化的設計理念,即在細節上充分考慮現場情況,并不斷完善設計,使現場使用者更加方便地使用,維護本烘箱;

    可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

    提供高性價比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩定性、升溫速率、溫度恢復時間等工藝條件;

    可定制層板,滿足承重與間距要求;

    溫度均勻度依照GBT30435-2013;

    設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準;

    滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控;

    提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

    配套完整的產品使用手冊及說明。

     

    型號

    MF-OVV****

    1600

    1640

    1800

    循環系統

    熱風循環系統

    性能參數

    溫度范圍

    RT. + 25°C ~250°C

    溫度波動范圍

    0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

    溫度均勻性

    0-100℃<1℃100-200℃<2℃

    升溫時間

    < 30Min175℃&  < 40Min200℃

    烘箱結構

    烘箱外腔體選材

    烤漆、不銹鋼

    烘箱內腔體選材

    SUS304

    保溫材料

    高密度陶瓷纖維棉

    加熱

    無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

    冷卻方式

    風冷、多段式冷卻

    內腔尺寸W *H *D mm

    600 *600* 1100

    640 *640 * 1100

    800 *800 * 1300

    外形尺寸W * H *D mm

    1030 * 950 * 1900

    1030* 950 * 1900

    1200 * 1100 * 2100

    容積 (L)

    360

    450

    830

    使用環境

    溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

    動力配置

    電源配置

    AC380V 3PH

    AC380V 3PH

    AC380V 3PH

    烘箱功率

    13KVA

    13KVA

    16KVA


    基本功能配置:

    電源缺相保護;

    漏電保護器;

    電磁門鎖(氣缸門鎖);

    過載保險絲;

    超溫保護器;

    加熱器防干燒;

    馬達轉速檢測;

    N2壓力檢測;

    N2過濾調壓閥;

    選配功能:

    在線氧含量檢測;

    N2流量檢測;

    高低溫表設定聯動;

    腔體壓力檢測;

    自動排風裝置;

    廢氣沉淀回收裝置;










    服務熱線:021-64307580

    傳真:021-64306520
    郵箱:shanghai@mfinetech.com
    地址:上海市金山區春麗路1239號國際中小企業產業園   (二期) 3號樓
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