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    MF-AO系列自動烘箱
        發布時間: 2023-06-28 10:43    

    MF-AO系列自動烘箱是專門設計用半導體集成電路自動化生產線,與現場AGV,ROBOT等自動化配合,實現無人操作,安全生產。


    MF-AO系列自動烘箱

    用途特點:

    本產烘箱品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產工藝。

    技術特點: 

    自動化操作系統滿足現場無人操作的需求,自動開關門系統完全融入工廠自動化系統中,根據遠程指令動作及反饋;

    更加安全的烘箱,自動門狀態、動作聯鎖及多重保護措施,避免了系統間干涉出現;

    烘箱采用雙門設計,自動門實現自動生產,手動門進行保養與應急生產。采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運行時的腔體內清潔和預防了產品表面沾污;整體框架設計能與外部輸送設備機構聯動,保證動作一致性。

    過程控制:

    烘箱加熱采用多段式程序控制,完全滿足現場各種工藝需求;

    工廠MES,CIM,EAP配套軟件使用,可實現烘箱溫度監控,產品運行參數管理與生產運行記錄。

    設備特點:

    可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

    溫度均勻度依照GBT30435-2013;

    設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

    提供高性價比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩定性、溫升速率、溫度恢復時間等工藝條件;

    滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控;

    提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

    配套完整的產品使用手冊及說明。

       

    型號

    MF-AO****W/A

    1640

    2640

    循環系統

    熱風循環系統

    性能參數

    溫度范圍

    RT. + 25°C~250°C

    溫度波動范圍

    0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

    溫度均勻性

    0-100℃<1℃100-200℃<2℃

    升溫時間

    < 30Min175℃&  < 40Min200℃

    烘箱結構

    烘箱外腔體選材

    烤漆板、不銹鋼

    烘箱內腔體選材

    SUS304

    保溫材料

    高密度陶瓷纖維棉

    加熱

    無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

    冷卻方式

    水冷卻、風冷卻、多段式冷卻

    內腔尺寸W *H *D mm

    640 *640* 1100

    640 *640 * 550

    外形尺寸W * H *D mm

    1700 * 1100 * 1840

    1800* 1100 * 2040

    容積 (L)

    160

    450

    使用環境

    溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

    動力配置

    電源配置

    AC380 3PH

    AC380 3PH

    烘箱功率

    13KVA

    20KVA

     

    基本功能配置:


    漏電保護器;

    電磁門鎖;

    加熱保險絲;

    電源缺相保護;

    超溫保護器;

    低溫保護器;

    加熱器防干燒保護;

    馬達轉速檢測保護;

    UPS;

    壓縮空氣檢測;

    N2流量檢測;

    水流量檢測;

    功能選配:

    腔體氧含量在線檢測;

    高低溫聯動檢測;

    腔體壓力檢測;

    自動排風閥;

    廢氣沉淀回收裝置;

    腔體空燒排污;

    腔體內除塵過濾網裝置;










    服務熱線:021-64307580

    傳真:021-64306520
    郵箱:shanghai@mfinetech.com
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